| 적용 Panel size | 850x1400(mm) - Max |
|---|---|
| 적용 Panel | 8.0mm 이상 |
| Tact time | 250sec / 1 Mask |
| 세정력 | 1.6㎛ 이상 실리카 파우더 99% 이상 제거 ※ CTS 스탠다드 파티클 기준 |
| Nozzle 표준 Gap | 1.5 ~ 2.0mm |
| Moving type | Head moving |
| 전원 | AC208V 3P 60Hz / 50Hz |
| Mask 공급 | 수동 대차 / AGV |
| 이물 검사 능력 | 30um 이상 |
| 이물 검출 능력 | Line scan camera |
| 초음파 건식 세정기 | 노광기 Photo mask를 비접촉 건식으로 세정하는 초음파 건식 세정기 |
|---|---|
| 오염방지 | 공정 중 Photo mask의 이물관리 |
| 보호 | Photo mask의 손상방지 |
| 불량 저감 | 불량 Photo mask로 인한 공정불량 감소 |
