| Type (V-U-V) | Single Head : Vacuum + Ultrasonic Pressure + Vacuum (VUV) |
|---|---|
| USC Head Pressure | 10 ± 3kPa |
| USC Head Vacuum | -0.4 ± 0.3kPa |
| Clean有效距离 | Max : 300mm |
| Nozzle Gap | 调整Manual gap（标准：1.5~2.0mm） |
| 确认Pressure / Vacuum压力 | 为安装于静压/真空数字式压力开关设备企业，将供应/压力计配线工作由设备企业进行 |
