| Type (V-U-V) | Single Head : Vacuum + Ultrasonic Pressure + Vacuum (VUV) |
|---|---|
| USC Head Pressure | 10 ± 3kPa |
| USC Head Vacuum | -0.4 ± 0.3kPa |
| Clean 유효거리 | Max : 300mm |
| Nozzle Gap | Manual gap 조정 (표준 1.5~2.0mm) |
| Pressure / Vacuum 압력 확인 | 정압용 · 진공용 디지털 압력 스위치 설비업체에 부착할 수 있도록 공급 / 압력계 배선 작업은 설비 업체에서 실시 |
