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초음파세정기 arrow

Wafer

반도체 wafer 건식세정기

규격 및 사양

Wafer (Glass) Size & Thickness 12 Inch(Ø300mm) Wafer (0.7T), Glass (0.5T) Wafer, Glass 동시 가능
세정력 96~99% (3㎛ Spacer 기준) ※ CTS 스탠다드 파티클 기준
Nozzle 표준 Gap 1.5~2.0 mm
Moving type Stage moving
전원 AC 208V 3P 60Hz
Wafer & Glass 공급 By Robot