| 적용 대상 | Lens(Tray), Lens assy unit, Lens barrel |
|---|---|
| 세정 Speed | 권장 180mm/s, 최대 300mm/s |
| 세정력 | 1.6㎛ 이상 실리카 파우더 99% 이상 제거 ※ CTS 스탠다드 파티클 기준 |
| 전원 | AC208V 3P 60Hz / 50Hz |
| 제품 공급 | Tray |
| 초음파 비접촉 세정기 | Lens 경통의 외면과 Lens 상면, 하면을 초음파 공기에 의한 비접촉 방식으로 세정 |
|---|---|
| 렌즈 자동 3면 세정기 | Tray로 공급된 Lens를 상, 하, 측면을 자동으로 세정하는 Type |
