| 적용 Panel size | 2G(370x470) ~ 10.5G(2940x3370) mm |
|---|---|
| 적용 Panel 최소 두께 | 0.3mm 이상 |
| 세정 Speed | 권장 180mm/s, 최대 300mm/s |
| 세정력 | 1.6㎛ 이상 실리카 파우더 99% 이상 제거 ※ CTS 스탠다드 파티클 기준 |
| Nozzle 표준 Gap | 1.5 ~ 2.0mm |
| 전원 | AC208V 3P 50Hz / 50Hz |
| Panel 공급 | Robot / Conveyor |
| 초음파 비접촉 건식 세정기 | 0.3mm 이상의 Panel을 초음파 공기에 의한 비접촉 방식으로 세정하는 단면 건식 세정기 |
|---|---|
| A-type | Panel을 Vacuum stage에 진공 흡착 후 USC Head를 이송 하는 A-type |
| B-type | Panel을 Vacuum stage에 진공 흡착 후 Vacuum stage를 이송 하는 B-type |
